荧光光谱
荧光分析法的特点是灵敏度高，对某些物质的微量分析可以检测到 克数量级，如污水中的银含量用荧光分析法可以检测到 克，可以检测到 克。对一些亦可检测到 克。荧光分析的灵敏度比分光光度法的灵敏度高2~3个数量级，Edinburgh荧光光谱仪报价，这是由于荧光分析的荧光和入射光之间成直角，而不在一条直线上，爱丁堡荧光光谱仪报价，所以是在黑背景下检测荧光。而分光光度法的与入射光在一条直线上，所以它是在亮背景下检测。因此荧光分析法比分光光谱法灵敏度高。分光光谱法的灵敏度一般只能检测到 克，荧光光谱仪报价，两者相差三个数量级。当然荧光分析法比起带电子显微镜的电子探针法灵敏度又低一些，Techcomp荧光光谱仪报价，然而电子探针仪器价格昂贵，使用不方便。
射线荧光的物理原理
当材料暴露在短波长光检查，或伽马射线，其组成原子可能发生电离，如果原子是暴露于辐射与能源大于它的电离势，足以驱逐内层轨道的电子，然而这使原子的电子结构不稳定，在外轨道的电子会“回补”进入低轨道，以填补遗留下来的洞。在“回补”的过程会释出多余的能源，光子能量是相等两个轨道的能量差异的。因此，物质出的辐射，这是原子的能量特性。
荧光光谱的分类
原子荧光可分为 3类：即共振荧光、非共振荧光和敏化荧光，其中以共振原子荧光，在分析中应用。共振荧光是所发射的荧光和吸收的辐射波长相同。只有当基态是单一态，不存在中间能级，才能产生共振荧光。非共振荧光是激发态原子发射的荧光波长和吸收的辐射波长不相同。非共振荧光又可分为直跃线荧光、阶跃线荧光和反斯托克斯荧光。直跃线荧光是激发态原子由高能级跃迁到高于基态的亚稳能级所产生的荧光。阶跃线荧光是激发态原子先以非辐射方式去活化损失部分能量，回到较低的激发态，再以辐射方式去活化跃迁到基态所发射的荧光。直跃线和阶跃线荧光的波长都是比吸收辐射的波长要长。反斯托克斯荧光的特点是荧光波长比吸收光辐射的波长要短。敏化原子荧光是激发态原子通过碰撞将激发能转移给另一个原子使其激发，后者再以辐射方式去活化而发射的荧光。
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